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常州启程环境技术有限公司近日与韩国江原大学、天安技术大学正式签署产学研合作协议,三方将围绕泛半导体工业废气处理技术开展联合攻关。根据协议,韩方高校将提供等离子体分解、高温催化等领域的理论支持,启程环境则负责技术转化及产业化落地。
合作首期项目聚焦PFC气体处理装备的能效优化,计划在2024年内完成新型催化材料的实验室验证。公司总经理表示,韩国在半导体制造工艺废气治理领域拥有丰富经验,此次合作将加速公司技术迭代,并为客户提供更高效的解决方案。目前,启程环境已与多家韩国半导体设备企业建立供应链合作,产品出口至马来西亚、越南等东南亚国家。